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蔡司Sigma 300熱場掃描電鏡制備要求
蔡司Sigma 300熱場掃描電鏡能夠對各種材質的導電和不導電樣品、不同尺寸和形狀的樣品表面微觀結構進行高分辨觀察。配置能譜和背散射電子衍射儀附件可以實現樣品表面微觀區域內的成分和織構分析。
蔡司Sigma 300熱場掃描電鏡制備要求：
1. SEM樣品要求
(1)塊體樣品：金屬塊體樣品可用導電膠直接固定在樣品臺上，確保樣品與樣品臺良好接觸;導電性差或不導電的樣品需盡量將塊狀樣品做小，并在表面引導電膠至樣品臺，可在低電壓模式下觀察，也可進行表面噴金或噴碳處理后再進行觀察。
(2)粉末樣品：先將導電膠帶粘在樣品臺上，再均勻地把粉末樣品撒在上面，用洗耳球吹去未粘牢的粉末，注意樣品量不要過多。
(3)截面樣品：將樣品夾持在截面樣品臺上，需將樣品的觀察面與樣品臺頂面持平。
(4)所有樣品必須做干燥處理;孔隙率大的樣品在進入電鏡前需在真空條件下儲存或提前進行紅外干燥處理。
2. EBSD樣品要求：
(1)尺寸要求：樣品應小于20 mm×20 mm，厚度超過10 mm需使用截面樣品臺進行固定。
(2)表面要求：表面平整、清潔、無殘余應力，導電性好。可通過機械拋光、電解拋光或離子拋光進行制樣。
3. 拉伸樣品要求：
(1)尺寸要求：樣品長度≤53mm，夾持端寬度≤10mm，厚度≤2.5mm，如樣品斷裂伸長率較大，應將樣品長度盡量減小。
(2)其他要求：觀察拉伸狀態下的組織形貌需將樣品表面做拋光腐蝕處理;EBSD測試需按照上述EBSD樣品要求進行表面處理;測試溫度范圍室溫至500℃。
